pecvd为什么功率加载不到设定功率
pecvd为什么功率加载不到设定功率
射频电源一般自带测试电路,也有专门的Dummy Load+测试仪器测试RF反射功率。
为什么管式PECVD(CT)在做156单晶(做双层膜),在第二次镀膜...
是什么报警?反射过大吗?如果发射过大,建议增加Stable步,原因是等离子体阻抗突变引起的。
PECVD的反射功率怎么测出来的?
射频电源一般自带测试电路,也有专门的Dummy Load+测试仪器测试RF反射功率。
射频电源一般自带测试电路,也有专门的Dummy Load+测试仪器测试RF反射功率。
是什么报警?反射过大吗?如果发射过大,建议增加Stable步,原因是等离子体阻抗突变引起的。
射频电源一般自带测试电路,也有专门的Dummy Load+测试仪器测试RF反射功率。