国内唯一能够生产高端芯片光刻胶的企业,对我国自主发展极大规模集成电路制造业具有战略支撑意义。
钨膜、铅膜、金属硅化物,氧化硅膜以及氮化硅膜等,这些薄膜材料可以用作栅电极,多层布线的层间绝缘膜,金属布线,电阻以及散热材料等。