13.56MHz 400w的射频电源输出电压是多少？
为什么射频电源要用13.56mhz频率的电力,用市电50hz的...
看了前面的回答都没有说到问题的关键。楼主是想知道为什么要用这么高频率的射频电源而不是低频率的。其实在磁控溅射上也有用mf，甚至是直流的...
为什么射频电源要用13.56mhz频率的电力,用市电50hz的可以...
因此，13.56MHz频率在射频电源中的应用，与其说是技术上的必然选择，不如说更多是历史与实际应用中的权宜之计。
射频电源13.56mHZ+2mHZ在pvd设备的作用?
2 MHz射频电源：2 MHz射频电源也可以用于产生等离子体，但相对于13.56 MHz，它的频率较低。2 MHz射频电源通常用于电子束蒸发（Electron Beam ...