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什么是计算光刻?

一部分的衍射光波被投影物镜收集，会聚到附着光刻胶的晶圆表面。此时光波发生干涉，并在光刻胶表面形成稳定的光强分布。光刻胶经光波照射的地方发生光化学反应，其溶解度等特性发生改变。然后经过曝光、显影等工艺步骤，即可实现电路版图向晶圆的复刻转移。1.2. 提高成像分辨率的方法 摩尔定律预测芯片单位面积所能容

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