Èý¼×»ùÂÁ(TMA)Ϊ¼×»ùÂÁÑõÍéÔ­²ÄÁÏ ÎÒ¹úÐèÇó¸ß¶ÈÒÀÀµ½ø¿Ú...

Èý¼×»ùÂÁ£¨TMA£©£¬»¯Ñ§Ê½ÎªAl£¨CH3£©3£¬ÊÇÒ»ÖÖÖØÒªµÄÓлú½ðÊô»¯ºÏÎï¡£ÔÚ³£ÎÂÏ£¬Ëü³ÊÏÖΪÎÞɫ͸Ã÷ÒºÌ壬²¢°éÓд̼¤ÐÔÆøÎ¶£¬¿ÉÈÜÓÚ±¥ºÍÖ¬·¾...


Èý¼×»ùÂÁ»ù±¾¸ÅÊö

Ãû³Æ£ºÈý¼×»ùÂÁ£¬Ó¢ÎÄÃûTrimethylaluminium£¬ÓÖ³ÆALUMINUM TRIMETHANIDE¡¢ALUMINUM TRIMETHYL¡¢TMAµÈ¡£·Ö×ÓʽÓë·Ö×ÓÁ¿£º·Ö×ÓʽΪC3H9Al£¬·Ö×ÓÁ¿Îª72.08¿Ë/Ħ¶û¡£CASºÅÓëEINEC...


Èý¼×»ùÂÁÓë¼×´¼·´Ó¦Éú³Éʲô

¼×»ùÈý¼×Ñõ»ùÂÁ¡£Èý¼×»ùÂÁºÍ¼×´¼·´Ó¦Éú³É¼×»ùÈý¼×Ñõ»ùÂÁ£¨Ò²³ÆÎªTMA£©£¬»¯Ñ§Ê½ÎªAl(OCH3)3¡£ÊÇÒ»ÖÖÎÞɫ͸Ã÷µÄÒºÌ壬¾ßÓнϸߵÄÈÈÎȶ¨ÐÔºÍÈܽâÐÔ£¬³£ÓÃ×÷ÓлúºÏ³ÉÖÐ...


¹úÄÚÈý¼×»ùÂÁÓд¢´æÁ¿ÏÞÖÆÂð?

¹úÄÚÈý¼×»ùÂÁÓд¢´æÁ¿ÏÞÖÆÂð£¿Èý¼×»ùÂÁ£¨TMA£©Îª¼×»ùÂÁÑõÍéÔ­²ÄÁÏ ÎÒ¹úÐèÇó¸ß¶ÈÒÀÀµ½ø¿Ú Èý¼×»ùÂÁ£¨TMA£©£¬»¯Ñ§Ê½ΪAl£¨CH3£©3£¬ÊÇÒ»ÖÖÓлú½ðÊô...


AlN±¡Ä¤³£¼û³Á»ý·½·¨½éÉÜ

AlN±¡Ä¤µÄ³£¼û³Á»ý·½·¨°üÀ¨MOCVD¡¢½¦Éä¡¢PLD¡¢MBE¡¢ALDºÍµç×ÓÊøÕô·¢£¬¾ßÌå½éÉÜÈçÏ£ºMOCVD£¨Óлú½ðÊô»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý£©·´Ó¦ÎʹÓÃÈý¼×»ùÂÁ£¨TMA£©×÷ΪÂÁÔ´...


º£¶ûKFR - 35GW/21TMAAL23AU1ÊÇ±äÆµÂð?

ÊÇ±äÆµµÄ£¡Äã¿´Õâ¸öÃúÅÆ£¬ÖÆÀ书ÂÊÀ¸À±ê×¢3500£¨300-4100£©Òâ˼¾ÍÊǶÊÇ3500WµÄÖÆÀäÁ¿£¬µ«ÊÇ±äÆµ×îµÍµÄʱºòÊÇ300WÖÆÀäÁ¿£¬×î¸ßÄÜ´ïµ½4100...


Ô­×Ó²ã³Á»ý(RS - ALD)¼¼ÊõÖÆ±¸µÄAl2O3±¡Ä¤ÔÚTOPConµç³Ø±ßÔµ¶Û ...

Ò»¡¢RS-ALD¼¼ÊõÔ­ÀíÓëÓÅÊÆ¼¼ÊõÔ­Àí£ºRS-ALD£¨Ðýת¿Õ¼äÔ­×Ó²ã³Á»ý£©Í¨¹ý½»ÌæÒýÈëÈý¼×»ùÂÁ£¨TMA£©ºÍÈ¥Àë×ÓË®×÷ΪǰÇýÌ壬ÔÚ»ùµ×±íÃæÐγɵ¥²ãAl?O?£¬²¢...


Ô­×Ó²ã³Á»ýÑõ»¯ÂÁµÄ¾ßÌå²½ÖèÊÇʲô

2. ³Á»ýÑ­»·²½Ö裨ÒÔTMAºÍˮΪǰÇýÌåΪÀý£© •²½ÖèA£ºTMAÂö³å Ïò·´Ó¦Ç»Âö³å×¢ÈëÈý¼×»ùÂÁ£¨TMA£¬Al(CH₃)₃£©ÕôÆû£¬TMA·Ö×ÓÓë»ùµ×±íÃæµÄ-OH»ù...


°ëµ¼Ìå[±¡Ä¤¹¤ÒÕ] - ALD - Ô­×Ó²ã³Á»ý;

Ñõ»¯ÂÁµÄ³Á»ýÊÇALD¹¤ÒÕµÄÒ»¸öµäÐÍÓ¦Óá£Í¨³££¬¿ÉÒÔͨ¹ýÈý¼×»ùÂÁ£¨TMA, C3H9Al£©ºÍË®£¨H2O£©À´ÊµÏÖ¡£ÒÔÏÂÊÇÑõ»¯ÂÁ³Á»ýµÄ¾ßÌå²½ÖèºÍ·´Ó¦¹ý³Ì£ºÏû³ý¾§Ô²±íÃæÓëÑõ½áºÏµÄÇâÔ­×Ó...


Ïà¹ØËÑË÷

ÈÈÃÅËÑË÷